T/GVS 006-2022 半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法
标准编号：T/GVS 006-2022
规范名称：半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法
该国家标准规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。
该国家标准适用于电气工作频率在100 kHz～3 GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品。
起草单位：季华实验室、中山凯旋真空科技股份有限公司、暨南大学
起草人：胡琅、陈浩、卫红、李晓峰、高峰、刘彭义、李晓刚、陈科球
批准发布部门：广东省真空学会
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